ຜົນກະທົບ
ໃນຄອບຄົວອາຍແກັສເອເລັກໂຕຣນິກ, silane, phosphane, borane, ແລະ arsane ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງແລະເປັນວັດຖຸດິບທີ່ສໍາຄັນທີ່ສຸດສໍາລັບການຜະລິດ IC. Phosphoane ເປັນແຫຼ່ງ doping N-type ທີ່ສໍາຄັນໃນການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor, ແລະມັນຍັງຖືກນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການເຊັ່ນ: polysilicon vapor precipitation ສານເຄມີ, ວັດສະດຸ GaP epitaxial, implantation ion, ຂະບວນການ MOCVD, ແລະການກະກຽມຂອງຮູບເງົາ passive ກ່ຽວກັບແກ້ວ phosphorosilicon (PSG).
PH3, ໄວໄຟ, ລະເບີດ, ເປັນພິດສູງ, ມີລະດັບຄວາມເປັນພິດຂອງ PEL/TLV 0.3ppm, STEL 1ppm, LC50 20ppm, IDLH 200ppm, ເປັນສານອັນຕະລາຍທີ່ເປັນພິດສູງ.
ການຕອບໂຕ້ສຸກເສີນແລະການກໍາຈັດ
1, ການຕອບໂຕ້ສຸກເສີນຮົ່ວ
ເລັ່ງອົບພະຍົບບຸກຄະລາກອນອອກຈາກເຂດທີ່ເປື້ອນເປິ ໄປສູ່ເຂດພູດອຍ ແລະ ແຍກອອກທັນທີເປັນໄລຍະທາງ 450 ແມັດ, ໂດຍມີຂໍ້ຈຳກັດການເຂົ້າ-ອອກຢ່າງເຂັ້ມງວດ. ຕັດແຫຼ່ງໄຟ. ຂໍແນະນຳໃຫ້ພະນັກງານສຸກເສີນໃສ່ເຄື່ອງຊ່ວຍຫາຍໃຈແຮງດັນບວກທີ່ບັນຈຸດ້ວຍຕົນເອງ ແລະ ເຄື່ອງນຸ່ງປ້ອງກັນ. ຕັດແຫຼ່ງຂອງການຮົ່ວໄຫຼອອກຫຼາຍເທົ່າທີ່ເປັນໄປໄດ້. ການລະບາຍອາກາດທີ່ສົມເຫດສົມຜົນແລະເລັ່ງການແຜ່ກະຈາຍ. ເຈືອຈາງແລະລະລາຍດ້ວຍນ້ໍາສີດ. ກໍ່ສ້າງຖໍ້າ ຫຼື ຂຸດຂຸມເພື່ອບັນຈຸນໍ້າເສຍຈໍານວນຫຼວງຫຼາຍ. ຖ້າເປັນໄປໄດ້, ໃຫ້ໃຊ້ພັດລົມລະບາຍອາກາດເພື່ອສົ່ງອາຍແກັສທີ່ຮົ່ວອອກໄປຫາພື້ນທີ່ເປີດຫຼືຕິດຕັ້ງຫົວດູດທີ່ເຫມາະສົມເພື່ອເຜົາໄຫມ້ມັນ. ຖັງທີ່ຮົ່ວໄຫຼຄວນຖືກຈັດການ, ສ້ອມແປງ, ແລະກວດກາຢ່າງຖືກຕ້ອງກ່ອນທີ່ຈະໃຊ້.
2, ມາດຕະການປ້ອງກັນ
ການປ້ອງກັນການຫາຍໃຈ: ພາຍໃຕ້ສະພາບການເຮັດວຽກປົກກະຕິ, ໃສ່ຫນ້າກາກກ໊າຊທີ່ມີການກັ່ນຕອງ (ຫນ້າກາກໃບຫນ້າເຕັມ). ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນສູງ, ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງໃສ່ເຄື່ອງຊ່ວຍຫາຍໃຈທາງອາກາດຫຼືເຄື່ອງຊ່ວຍຫາຍໃຈອົກຊີເຈນ. ມັນແນະນໍາໃຫ້ໃສ່ເຄື່ອງຊ່ວຍຫາຍໃຈທາງອາກາດໃນລະຫວ່າງການກູ້ໄພຫຼືການຍົກຍ້າຍສຸກເສີນ.
ການປ້ອງກັນຕາ: ໃສ່ແວ່ນຕາຄວາມປອດໄພຂອງສານເຄມີ.
ການປົກປ້ອງຮ່າງກາຍ: ໃສ່ເສື້ອແກັດກາວແບບໜ້າກາກ.
ປ້ອງກັນມື: ໃສ່ຖົງມືຢາງ.
ອື່ນໆ: ການສູບຢາ, ກິນອາຫານ, ແລະເຄື່ອງດື່ມແມ່ນຫ້າມຢ່າງເຂັ້ມງວດໃນບ່ອນເຮັດວຽກ. ຫຼັງຈາກເຮັດວຽກ, ອາບນ້ໍາແລະປ່ຽນເຄື່ອງນຸ່ງ. ຮັກສານິໄສສຸຂະອະນາໄມທີ່ດີ. ການເຂົ້າໄປໃນຖັງ, ສະຖານທີ່ຈໍາກັດ, ຫຼືພື້ນທີ່ທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນສູງອື່ນໆສໍາລັບການເຮັດວຽກຕ້ອງໄດ້ຮັບການເບິ່ງແຍງໂດຍຜູ້ໃດຜູ້ຫນຶ່ງ.
3, ມາດຕະການການຊ່ວຍເຫຼືອຄັ້ງທໍາອິດ
ການສູດດົມ: ເອົາອອກຈາກບ່ອນເກີດເຫດຢ່າງວ່ອງໄວໄປບ່ອນທີ່ມີອາກາດສົດຊື່ນ. ຮັກສາ patency ທາງອາກາດ. ຖ້າຫາຍໃຈຍາກ, ໃຫ້ໃຊ້ອົກຊີເຈນ. ຖ້າການຫາຍໃຈຢຸດ, ດໍາເນີນການຫາຍໃຈທຽມທັນທີ. ຊອກຫາການປິ່ນປົວ.
ວິທີການດັບເພີງ: ນັກດັບເພີງຕ້ອງໃສ່ຫນ້າກາກກ໊າຊປະເພດການກັ່ນຕອງ (ຫນ້າກາກໃບຫນ້າເຕັມ) ຫຼືເຄື່ອງຊ່ວຍຫາຍໃຈປະເພດໂດດດ່ຽວ, ໃສ່ຊຸດປ້ອງກັນໄຟແລະອາຍແກັສເຕັມຕົວ, ແລະດັບໄຟໃນລົມ. ຕັດແຫຼ່ງອາກາດ. ຖ້າແຫຼ່ງກ໊າຊບໍ່ສາມາດຕັດອອກທັນທີ, ມັນບໍ່ໄດ້ຖືກອະນຸຍາດໃຫ້ດັບແກັສທີ່ເຜົາໄຫມ້. ສີດນ້ໍາເພື່ອເຮັດໃຫ້ພາຊະນະເຢັນ, ແລະຖ້າເປັນໄປໄດ້, ຍ້າຍພາຊະນະຈາກໄຟໄປຫາພື້ນທີ່ເປີດ. ຕົວແທນດັບເພີງ: ສີດນ້ໍາ, ໂຟມ, ຝຸ່ນແຫ້ງ, ຄາບອນໄດອອກໄຊ.